ELEKTRONIKA LUTY 2008

Spis treści zeszytu Elektronika (XLIX) nr 2/2008

Bifurkacje i chaos w układach dynamicznych (Bifurcations
and chaos in dynamic systems) - R. Basiński,
Z. Trzaska . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

Pozyskiwanie danych do systemów obrazowania
informacji przestrzennej (Acquire data for imaging
system of spatial information) - M. Piszczek,
Rutyna K. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

Koncepcja czujnika termoanemometrycznego wykorzystującego
zjawisko Peltiera (The concept of the
hot-wire anemometric sensors with Peltier's phenomenon)
- M. Durnaś, J. Papliński . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19

Zastosowanie ultrakrótkich impulsów w mikrofalowym
systemie obrazującym (Application of ultrashort
pulses in microwave imaging system) - M. Bury,
S. Kozłowski, E. Jaszczyszyn . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

Sterowanie kierunkiem maksymalnego promieniowania
szyku antenowego za pomocą waraktorowych
przesuwników fazy (Phased array beam steering
using varactor phase shifters) - M. Bury, S. Kozłowski,
D. Gryglewski, J. Zborowska, T. Morawski, E. Sędek . . 25

Techniki tomografii gradientowej w analizie procesu
chłodzenia elementów elektronicznych (Techniques
of the gradient optical tomography in the analysis of cooling
process in electronic components) - R. Janiczek,
J. Pisarek, A. Wojciechowski . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

Zasilacz impulsowy sterowany sygnałem małej częstotliwości
do modulatorów amplitudy o dużej mocy
wyjściowej w nadajnikach radiowych (Switchedmode
supply unit controlled by a low-frequency signal
for power amplitude modulators in radio transmitters)
- J. Modzelewski . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

Analiza wymiarów samozorganizowanych kropek
kwantowych z InAs/GaAs wykonanych techniką
MBE (Dimension analysis of self-organized InAs/GaAs
quantum dots prepared by MBE) - M. Kaczmarczyk,
T.Piotrowski, M. Kaniewska, O. Engström, J. Piscator,
M. Sadeghi, S. Pawłowski . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Shape of increasing pulse leading egde in the time
domain as a determinant of its spectrum (Kształt narastającego
zbocza sygnału determinantem jego widma
w zakresie w.cz.) - P. Ruszel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42

Ograniczenia przestrajania filtru pasmowoprzepustowego
z zerem transmitancji na drugiej harmonicznej
sygnału (Tuning limitations of a bandpass
filter with transmission zero on the second harmonic)
- A. Rudziński . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 45

Procedury wielopoziomowej dekompozycji i rekonstrukcji
danych 2D za pomocą pakietów falkowopodobnych
(Computational procedures of multilevel
decomposition and reconstruction 2D data
using wavelet-like packets) - D. Majorkowska-

-Mech, A. Tariov . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48

Pomiar parametrów sygnałów mikrofalowych jednoczesnych
za pomocą odbiornika NPCz (Measurement
of the parameters of the simultaneous microwave
signals by means of IFM receiver) - A.K. Rutkowski,
B. Smólski .................................................53

Właściwości i błędy dyskretnej transformacji Fouriera
(Properties and errors of Discrete Fourier Transform)
- M. Brodka . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

Szkło nieliniowe dla fotoniki. Część 1. Nieliniowość
elektryczna szkła (Nonlinear glasses for
photonics. Part 1. Electrical nonlinearity of glass)
- R. Romaniuk . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

Electroactive polymers - harvesting energy from walking
(Elektroaktywne polimery - energia uzyskiwana
z chodzenia) - E. Klimiec, W. Zaraska, K. Zaraska,
K. Gąsiorski, T. Sadowski, M. Pajda. . . . . . . . . . . . . . . 68

Influence of the magnetic field on the charge transport
in InxGa1-x As (0 ? x ? 1) MBE layers (Wpływ pola
magnetycznego na transport ładunków w warstwach
InxGa1-x As (0 ? x ? 1) otrzymywanych technologią MBE)
- A. Wolkenberg, T. Przesławski . . . . . . . . . . . . . . 72

NOWOŚCI TECHNIKI (TECHNOLOGY NEWS) . . . . . . . 75

TECHNIKA SENSOROWA: Anizotropia trawienia i piezorezystancji
w kryształach półprzewodników. Przykłady
wykorzystania w przyrządach MEMS (Etching and
piezoresistance anisotropy in semiconductor crystals.
Application examples in MEMS devices) -J. Łysko. . . . 77

KSIĄŻKI (BOOKS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
TARGI, WYSTAWY, KONFERENCJE (FAIRS, EXHIBITIONS,
CONFERENCES) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

Streszczenia artykułów • Summaries of the articles

BASIŃSKI R., TRZASKA Z.: Bifurkacje i chaos w układach
dynamicznych Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 7
Przedstawiono charakterystykę szczególnych procesów
dynamicznych, które mogą pojawiać się w silnie nieliniowych
układach o specyficznej strukturze. Zdefiniowano podstawowe
kryteria pozwalające na identyfikację zjawisk chaotycznych.
Duży nacisk położono na analizę drgań w obwodzie Chua'y,
w którym można zaobserwować pełny zestaw zachowań
charakterystycznych dla dynamicznych układów nieliniowych.
W pracy omówiono również możliwość występowania dynamiki
chaotycznej w układzie statecznika lampy fluorescencyjnej.
Wyznaczono baseny przyciągania dziwnych atraktorów.
Uzyskane wyniki symulacji komputerowych poddano szczegółowej
analizie.
Słowa kluczowe: drgania chaotyczne, bifurkacje, wykładniki
Lapunowa, dziwne atraktory, obwód Chua'y, elektroniczny
statecznik lampy fluorescencyjnej

PISZCZEK M., RUTYNA K.: Pozyskiwanie danych do systemów
obrazowania informacji przestrzennej
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 15
Dynamiczny rozwój geoinformacji wiąże się z zastosowaniem nie
tylko technologii informacyjnych i komunikacyjnych, ale także
wymusza rozwój technologii akwizycji danych. Zaprezentowano
wyniki prac dotyczące wybranych metod pozyskiwania i szybkiego
udostępniania danych do systemów obrazowania informacji
przestrzennej. Zwrócono szczególną uwagę na zagadnienie
integracji danych wizyjnych z danymi o lokalizacji i orientacji
przestrzennej sensora obrazowego, jako potencjalne źródło
możliwości istotnego zwiększenia potencjału informacyjnego
systemów wizyjnych. Zaprezentowano także nowatorskie
rozwiązanie kadrowania przestrzeni, wykorzystujące metodę
aktywnego laserowego podświetlania scenerii. W opracowaniu
zwrócono również uwagę na możliwość wykorzystania w
procesie pozyskiwania danych terenowych (geodanych)
bezzałogowych platform mobilnych.
Słowa kluczowe: fotogrametria, cyfrowe przetwarzanie obrazów,
bezpilotowe statki powietrzne

DURNAŚM., PAPLIŃSKI J.: Koncepcja czujnika
termoanemometrycznego wykorzystującego zjawisko Peltiera
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 19
W pracy przedstawiono koncepcję czujnika termoanemometrycznego,
wykorzystującego zjawisko Peltiera, Joulea i Seebecka, wraz
z układem do pomiaru prędkości przepływu nieprzewodzących gazów
i cieczy. Zaproponowany układ pozwala na stabilizację różnicy
temperatur pomiędzy punktem występowania zjawiska Peltiera,
a przepływającym medium. Charakterystyka statyczna i właściwości
dynamiczne czujnika mogą być kształtowane przez nieliniowe ujemne
sprzężenie zwrotne.
Słowa kluczowe: termoanemometr, pomiar przepływu, zjawisko Peltiera

BURY M., KOZŁOWSKI S., JASZCZYSZYN E.: Zastosowanie
ultrakrótkich impulsów w mikrofalowym systemie obrazującym
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 22
Zaprezentowano model laboratoryjny mikrofalowego systemu
obrazującego. System ten pozwala na uzyskanie przekroju
poprzecznego obiektu umieszczonego na stole obrotowym
i oświetlanego pod różnymi kątami ultrakrótkimi impulsami
mikrofalowymi. Omówiono uproszczony model matematyczny
systemu, wyniki symulacji komputerowych oraz wyniki pomiarów.
Słowa kluczowe: obrazowanie mikrofalowe, systemy UWB

BURY M., KOZŁOWSKI S., GRYGLEWSKI D., ZBOROWSKA J.,
MORAWSKI T., SĘDEK E.: Sterowanie kierunkiem maksymalnego
promieniowania szyku antenowego za pomocą waraktorowych
przesuwników fazy
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 25
W pracy przedstawiono właściwości 4-elementowego fazowanego
szyku antenowego. Sterowanie położeniem listka głównego
charakterystyki kierunkowej szyku odbywa się za pomocą zmiany
ustawień czterech waraktorowych przesuwników fazy. Porównano
zakres możliwych do uzyskania zmian kierunku maksymalnego
promieniowania z wynikami symulacji komputerowych.
Słowa kluczowe: przesuwnik fazy, szyk fazowany, dioda waraktorowa

JANICZEK R., PISAREK J., WOJCIECHOWSKI A.: Techniki tomografii
gradientowej w analizie procesu chłodzenia elementów
elektronicznych
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 29
Większość stosowanych obecnie metod eksperymentalnej analizy
procesów chłodzenia elementów elektronicznych bazuje na pomiarze
rozkładów temperatur na powierzchni elementu i punktowych,
kontaktowych pomiarach przepływającego gazu. W pracy
zaproponowano bezkontaktowy, optyczny pomiar rozkładu
temperatur medium chłodzącego w całej jego objętości.
Zastosowana metoda optyczna pozwala analizować procesy
wymiany ciepła, zarówno dla przepływów laminarnych,
jak i turbulentnych. Metoda ta jest szczególnie przydatna do
analizy zjawisk, towarzyszących chłodzeniu obiektów o niewielkich
wymiarach geometrycznych. Przetestowane zostało szereg
konfiguracji układu pomiarowego, zarówno w wariantach
klasycznych, jak i z wykorzystaniem nowych rozwiązań.
Dla przeprowadzenia weryfikacji metody fotografii smugowej
zbudowano specjalne stanowisko pomiarowe.
Słowa kluczowe: proces chłodzenia elementów elektronicznych,
fotografia smugowa, analiza obrazów prążkowych, tomografia
optyczna, tomografia gradientowa, regularyzacja Tichonowa

MODZELEWSKI J.: Zasilacz impulsowy sterowany sygnałem małej
częstotliwości do modulatorów amplitudy o dużej mocy wyjściowej
w nadajnikach radiowych
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 34
Zaprezentowano wysokosprawny kluczowany zasilacz sterowany
sygnałem akustycznym (50 Hz...5 kHz) do modulatorów amplitudy
przebiegów w. cz. o dużej mocy do nadajników radiowych z modulacją
AM. Zastosowano konwerter DC-DC obniżający napięcie (buck),
w którym zmienny sygnał modulujący jest sumowany z napięciem
odniesienia DC, a dzięki pętli sprzężenia zwrotnego o dużym
wzmocnieniu napięcie wyjściowe jest proporcjonalne do wypadkowego
napięcia odniesienia. Stabilność i szerokie pasmo przenoszenia
zasilacza sterowanego uzyskano, stosując mieszaną kompensację
(lag-lead) charakterystyk częstotliwościowych bloków pętli.
Słowa kluczowe: zasilacz sterowany, modulacja amplitudy, stabilność
pętli sprzężenia zwrotnego, kompensacja charakterystyk
częstotliwościowych

KACZMARCZYK M., PIOTROWSKI T., KANIEWSKA M., ENGSTRÖM
O., PISCATOR J., SADEGHI M., PAWŁOWSKI S.: Analiza
wymiarów samozorganizowanych kropek kwantowych z InAs/
GaAs wykonanych techniką MBE
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 39
Samozorganizowane kropki kwantowe wykonano z InGa/GaAs
na podłożu (100) GaAs metodą epitaksji z wiązek molekularnych
w modzie Strańskiego-Krastanowa techniką przerywanego wzrostu.
Do charakteryzacji kropek i oceny ich jednorodności wykorzystano
mikroskop sił atomowych. Analiza statystyczna rozmiarów kropek
wykazała bimodalny rozkład wielkości, który wskazuje na obecność
dwóch grup kropek kwantowych istotnie różniących się wymiarami
i gęstością. Dominująca grupa kropek miała wymiary 5,9 i 35,4 nm
odpowiednio dla wysokości i średnicy, a niejednorodność w stosunku
do średnich rozmiarów była na dobrym poziomie 10%. Natomiast
duże kropki były bardzo nieregularne, jednak miały małą gęstość
powierzchniową około 1 x 109 cm-2 i o rząd wielkości mniejszą w
porównaniu do gęstości mniejszych kropek kwantowych.
Technika przerywanego wzrostu w zoptymalizowanych warunkach
pozwala uzyskać grupę dobrze zdefiniowanych kropek kwantowych.
Słowa kluczowe: kropki kwantowe, InAs/GaAs, epitaksja z wiązek
molekularnych (MBE), mikroskopia sił atomowych (AFM)

RUSZEL. P.: Kształt narastającego zbocza sygnału determinantem
jego widma w zakresie w.cz.
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 42
Zaprezentowano w skrócie wyniki analizy wpływu kształtu czoła
sygnału impulsu napięcia, określonego w dziedzinie czasu, na kształt
obwiedni jego obrazu w dziedzinie częstotliwości. Zwrócono uwagę na
możliwość ograniczenia zawartości składowych widma częstotliwości
sygnału w zakresie wielkich częstotliwości oraz zmniejszenia ich
poziomu, jak również wskazano na jeden ze sposobów osiągnięcia
tego celu.
Słowa kluczowe: kompatybilność elektromagnetyczna, widmo sygnału,
sygnał testujący

RUDZIŃSKI A.: Ograniczenia przestrajania filtru pasmowoprzepustowego
z zerem transmitancji na drugiej harmonicznej sygnału
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 45
W niniejszej pracy przedstawiona została analiza ograniczeń przestrajania
filtru pasmowoprzepustowego z zerem transmitancji, uwarunkowanych
przez zadane parametry filtru. Analizę przeprowadzono przy założeniu
idealności elementów składowych filtru i pominięciu praktycznych
aspektów jego realizacji. Wyniki analizy pozwalają zatem wyznaczyć
teoretyczne granice osiągalnego zakresu przestrajania, przy którym filtr
zachowuje założone parametry, co umożliwia wstępną ocenę przydatności
omawianej architektury filtru dla konkretnego zastosowania.
Słowa kluczowe: filtr pasmowoprzepustowy, filtr przestrajany, zero
transmitancji, zakres przestrajania

MAJORKOWSKA-MECH D., TARIOV A.: Procedury obliczeniowe
wielopoziomowej dekompozycji i rekonstrukcji danych 2D za pomocą
pakietów falkowopodobnych
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 48
Przedstawiono wektorowo-macierzowe procedury obliczeniowe
reprezentujące nowe algorytmy wielopoziomowej dekompozycji
i rekonstrukcji danych dwuwymiarowych na podstawie
zmodyfikowanej metody pakietów falkowych. Różnica polega
na tym, że zamiast tradycyjnego podejścia do filtracji danych
stosowanego w znanej metodzie pakietów falkowych, filtrację
w tym przypadku zaproponowano realizować w dziedzinie
dyskretnych baz ortogonalnych. Wielopoziomowa dekompozycja
oraz rekonstrukcja za pomocą zaproponowanych procedur pozwala,
pod warunkiem zastosowania obszernego arsenału szybkich
algorytmów obliczania transformat w bazach ortogonalnych, na
redukcję liczby operacji arytmetycznych w porównaniu z metodą
tradycyjnych pakietów falkowych przy zachowaniu dokładności
reprezentacji danych.
Słowa kluczowe: metoda pakietów falkowych dla danych
dwuwymiarowych, dyskretne bazy ortogonalne, szybkie algorytmy
transformat w bazach ortogonalnych

RUTKOWSKI A.K., SMÓLSKI B.: Pomiar parametrów sygnałów
mikrofalowych jednoczesnych za pomocą odbiornika NPCz
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 53
Podstawowym przeznaczeniem odbiornika natychmiastowego
pomiaru częstotliwości, wyposażonego w mikrofalowy dyskryminator
częstotliwości, jest szybka estymacja chwilowej wartości częstotliwości
i obwiedni sygnałów mikrofalowych ciągłych oraz pojedynczych krótkich
impulsów. Ograniczeniem zakresu wykorzystania standardowych
wersji mikrofalowych dyskryminatorów częstotliwości jest brak
możliwości odróżniania sygnałów pojedynczych od sygnałów
jednoczesnych (ang. simultaneous signals) i sygnałów pokrywających
się (ang. overlapping signals). Poszukiwanie możliwości pomiaru
mikrofalowych sygnałów jednoczesnych oparto na analizie podobieństwa
między zasadą pracy mikrofalowego dyskryminatora częstotliwości i strukturą
przekształcenia Wignera- Villea (ang. Wigner - Ville distribution). W tym
celu zbadano kształt charakterystyki dyskryminacyjnej MDCz w funkcji
czasu opóźnienia linii transmisyjnych wykorzystanych w strukturze
dyskryminatora. Wartości charakterystyki dyskryminacyjnej przedstawiono
w postaci diagramu konstelacji IQ (ang. constellation diagram). Pokazano,
że diagram konstelacji pojedynczego MDCz może być użyty do detekcji
sygnałów jednoczesnych. Przeprowadzone analizy wykazały, że przy
użyciu odbiornika natychmiastowego pomiaru częstotliwości NPCz
z dwoma dyskryminatorami częstotliwości można estymować częstotliwość
i moc sygnałów pojedynczych i jednoczesnych. Estymacja tych parametrów
jest dokonywana przez analizę obrazu dwuelementowego diagramu
konstelacji.
Słowa kluczowe: natychmiastowy pomiar częstotliwości, NPCz, mikrofale,
sygnały jednoczesne

BRODKA M.: Właściwości i błędy dyskretnej transformacji Fouriera
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 60
Nowoczesne aplikacje z dziedziny rozpoznawania mowy i mówcy wykorzystują
coraz bardziej wyrafinowane techniki przetwarzania sygnałów.
Mikrokomputery i tanie układy cyfrowe pomagają rozwiązywać
wiele problemów występujących przy przetwarzaniu takich sygnałów,
jak np. mowa ludzka. Cyfrowe przetwarzanie sygnałów zastępuje
konwencjonalne metody wykorzystywane w analizatorach widma i innych
urządzeniach. Metody cyfrowe zwiększają precyzję przetwarzania.
Słowa kluczowe: rozpoznawanie mowy i mówcy, cyfrowe przetwarzanie
sygnałów

ROMANIUK R.: Szkło nieliniowe dla fotoniki. Część 1. Nieliniowość
elektryczna szkła
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 63
Szkła, obok półprzewodników i metali, są podstawowym materiałem
do budowy elementów w optoelektronice i mikroelektronice. Praktyczna
wiedza o szkłach rozszerza się wraz z rozwojem ich zastosowań
w telekomunikacji i budowie mikrosystemów. Wiele elementów
funkcjonalnych fotoniki budowanych jest ze szkieł nieliniowych. Optyczne
zjawiska nieliniowe indukowane w szkle pozwalają na budowę nowych
mikroelementów fotonicznych zastępujących złożone rozwiązania
klasycznej optyki objętościowej. W artykule, który jest pierwszą
częścią cyklu prac o szkłach nieliniowych, dokonano definicji szkła
nieliniowego przez porównanie ze szkłem liniowym. Określono obszary
nieliniowości szkieł, bazując na wzajemnym oddziaływaniu
ośrodka, fali optycznej i innych pól fizycznych. Zebrano tutaj te nieliniowe
cechy elektryczne szkieł, które decydują o ich nieliniowych
właściwościach optycznych.
Słowa kluczowe: szkła optyczne, fotonika, szkła nieliniowe, aktywność
optyczna, anizotropia optyczna, przenikalność elektryczna

KLIMIEC E., ZARASKA W., ZARASKA K., GĄSIORSKI K., SADOWSKI
T., PAJDA M.: Elektroaktywne polimery - energia uzyskiwana
z chodzenia
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 68
Za pomocą polimerowych warstw piezoelektrycznych można
przeprowadzić zasili urządzenia elektroniczne. Mimo że uzyskiwana
w ten sposób moc nie jest duża, nowe osiągnięcia w dziedzinie t
echnologii CMOS umożliwiają zastosowanie elektroaktywnych polimerów
(EAP) jako przetworników energii pochodzącej z ruchu człowieka
w energię elektryczną zasilającą urządzenia. Umożliwia to wyeliminowanie
baterii jako źródła zasilania, co rozwiązuje jeden z głównych problemów
w rozwoju komputerowej elektroniki przenośnej. Szczególnie interesujące
jest uzyskiwanie energii z chodzenia, co zostało przeprowadzone
za pomocą wkładki do butów z piezoelektryczną warstwą folii PE-PP
i przedstawione w artykule. Obliczono maksymalną moc, jaką można
otrzymać z energii chodzenia przy zastosowaniu piezoelektrycznego
elementu polietylen-polipropylen (PE-PP). Wartość energii elektrycznej
jaką uzyskano z jednej 11,5 ľm warstwy folii PE-PP dla jednego
kroku o czasie trwania 1 s, co odpowiada 1 Hz, wynosi 340 nJ.
Słowa kluczowe: elektroaktywne polimery, konwersja energii, małe moce

WOLKENBERG A., PRZESŁAWSKI T.: Wpływ pola magnetycznego
na transport ładunków w warstwach InxGa1-xAs (0 ? x ? 1)
otrzymywanych technologią MBE
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 72
Pomierzono zjawisko Halla i magnetorezystancje w stopach InxGa1-
xAs przy różnych wartościach x (x = 0, x = 0,53 i x = 1)
w polach
magnetycznych do 1,5 T. Warstwy InGaAs były osadzane na podłożach
z GaAs i InP w procesie MBE. Pomimo dużego niedopasowania
sieciowego (? 7,2%) warstwy InxGa1-x As wykazują dobrą strukturę, co
wynika z badań XRD. Heteroepitaksjalne warstwy InAs i In0.53Ga0.47As
wykazują się maksimum współczynnika Halla w temperaturze ~60 K
charakterystyczną dla transportu przez pasmo domieszek. Ponadto
warstwy InGaAs wykazują silnie nieliniowy charakter zależności
współczynnika Halla od pola magnetycznego, niewielkie odchylenie
od zależności kwadratowej magnetorezystancji od pola magnetycznego
i zależność temperaturową ruchliwości elektronów. Przypisujemy
to niehomogenicznemu rozkładowi dyslokacji niedopasowania
i interpretujemy to w modelu dwuwarstwowym, składającym się z warstwy
obszaru objętościowego i warstwy międzypowierzchniowej przy
podłożu, silnie wzbogaconej dyslokacjami.
Słowa kluczowe: zjawisko Halla, magnetorezystancja, InxGa1-xAs
(x = 0, x = 0,53 i x = 1), transport nośników, model dwuwarstwowy

ŁYSKO J.: Anizotropia trawienia i piezorezystancji w kryształach
półprzewodników. Przykłady wykorzystania w przyrządach
MEMS
Elektronika (XLIX), nr 2/2008, s. 77
Podstawowe właściwości krystalograficzne zostały zaczerpnięte z literatury
do opisu anizotropowych właściwości kryształu krzemu -anizotropowego
trawienia i zjawiska piezorezystancji, które również jest
funkcją kierunku krystalograficznego. Te właściwości anizotropowe
są szeroko stosowane w krzemowych technologiach MEMS. Stosując
model dwuwektorowego anizotropowego trawienia w roztworach
alkalicznych można wyjaśnić powody różnic szybkości trawienia
w różnych kierunkach krystalograficznych krystalicznego podłoża,
jak również prawie idealnie atomową jakość powierzchni uzyskiwaną
po anizotropowym trawieniu. Model piezorezystancji zaproponowany
przez Bira i Pikusa został wykorzystany do oszacowania współczynników
piezorezystancji technologii opracowanej w ITE dla czujników
przyspieszenia i ciśnienia. Zaprezentowano kilka przykładów krzemowych
struktur wytworzonych przy użyciu trawienia anizotropowego.
Słowa kluczowe: krzem, struktura krystaliczna, trawienie anizotropowe,
piezorezystancja